Среднегодовой темп роста индустрии оборудования для производства наноматериалов составит 10,4% в период между 2009 и 2014 гг. По оценке компании Innovative Research and Products, объём рынка к тому времени достигнет $90,4 млрд. Сектор полупроводниковых пластин будет испытывать подъём на 14% ежегодно, и через пять лет достигнет $20,6 млрд. В то же время в течение последних лет оба рынка падали. Продажи пластин составили $12,1 млрд, $11,4 млрд и $10,7 млрд в 2007, 2008 и 2009 гг. соответственно. В следующем же году рост возобновится, и продажи согласно прогнозам увеличатся на 9,3% до $11,7 млрд.
В течение трёх последних лет рынок оборудования снижался с $67,9 млрд в 2007 году до $62,1 млрд в 2008 и $55,1 млрд в 2009. В следующем году должен быть зафиксирован рост на 10,7% до $61 млрд. В целом производители полупроводников и электроники потратили около $80 млрд в 2007 г. и $74 млрд в следующем на кремниевые пластины, материалы и оборудование. Установки для размещения материалов на пластинах занимали в 2008 г. 19% долю рынка "нанопроизводственных" продуктов, оцениваемую в $11,4 млрд. Пятая часть поставок принадлежала литографическому оборудованию ($12,4 млрд), излучающим технологиям – 9% рынка и $5,6 млрд, решениям для тестирования компонентов и процессов – 17% и $10,56 млрд. Продажи в метрологическом сегменте составили $6,83 млрд (11% "нанорынка").
Затраты на исследования и разработки для совершенствования технологий производства наноматериалов превысили $7 млрд в год на уровне корпораций. В настоящее время 30-40% стоимости полупроводникового производства – это затраты на литографию, включая маски, резисты и метрологические техники. Цифры зависят преимущественно от количества интегральных схем на один заказ их разработки и возраста производственного оборудования.
